En plus des quatre erreurs géométriques d'erreur de positionnement, d'erreur de rectitude, d'erreur de mouvement angulaire et d'erreur de perpendicularité, le CMM a également quatre erreurs géométriques en raison de la déformation de la force, de la déformation thermique, du système de mesure, du système de sonde, du système de contrôle, de l'enregistrement des données et En traitement.

Le CMM est guidé par des roulements à air, de sorte qu'il n'y a pas de frottement et d'usure entre les rails de guidage, et l'uniformité de performance à long terme peut être maintenue. Le gaz à haute pression entre entre la surface de travail et la surface guide à travers les petits trous d'air dans le roulement à air, formant un espace d'air uniforme. L'espace d'air de travail normal du roulement à air se situe entre 3 et 10 μm.