Le CMM est guidé par des roulements à air, de sorte qu'il n'y a pas de frottement et d'usure entre les rails de guidage, et l'uniformité de performance à long terme peut être maintenue. Le gaz à haute pression entre entre la surface de travail et la surface guide à travers les petits trous d'air dans le roulement à air, formant un espace d'air uniforme. L'espace d'air de travail normal du roulement à air se situe entre 3 et 10 μm.